机译:使用ZrO2层在低温下改善了原子层沉积的二硫化锡的电性能
机译:工艺温度对三(二甲基氨基)环戊二烯基锆前体原子层沉积ZrO2薄膜结构和电性能的影响
机译:通过掺入Al2O3在低温(100摄氏度)下生长的原子层沉积HfO2膜的杂质减少并改善了电性能
机译:利用原子层沉积沉积的优化种子层改善SrTiO_3薄膜的生长行为和电性能
机译:原子层在氮化铟上沉积的高k电介质的电性能。
机译:等离子体增强原子层沉积在低温下沉积的HfO2薄膜的结构光学和电学性质
机译:嵌入ZrO2纳米晶体的原子层沉积La2O3薄膜的增强电性能